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申请/专利权人：上海积塔半导体有限公司
摘要：本发明提供一种提升制程良率的方法及制造执行系统，该方法包括步骤：提供晶圆批次于当前工序站点内；基于制造执行系统的指令对晶圆批次执行当前工序，制造执行系统设有针对当前工序站点发生无法自动出站状况时触发的卡控机制；当晶圆批次执行当前工序中发生无法自动出站状况时，基于卡控机制对晶圆批次进行卡控处理，以避免晶圆批次流转进入下一工序站点时包含存在当前工序不良问题的待处理晶圆。该方法通过制造执行系统对因设备发生异常而无法自动出站的晶圆批次进行卡控处理，克服了人为判断的局限性，避免了当前工序不良晶圆流入下一工序问题的发生，从而有效提升制程良率并降低制造成本。该制造执行系统设有卡控系统，有效提高制程良率。
主权项：1.一种提升制程良率的方法，其特征在于，包括以下步骤：提供晶圆批次于当前工序站点内；所述当前工序站点基于制造执行系统的指令对所述晶圆批次执行当前工序，所述制造执行系统还设有针对所述当前工序站点发生无法自动出站状况时触发的卡控机制；当所述晶圆批次执行当前工序中发生无法自动出站时，基于所述卡控机制对所述晶圆批次进行卡控处理，以避免所述晶圆批次流转进入下一工序站点时包含存在当前工序不良问题的待处理晶圆。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海积塔半导体有限公司 一种提升制程良率的方法及制造执行系统
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