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申请/专利权人：华中科技大学
摘要：本发明公开一种高性能的微机械超声换能器，包括衬底和附着在衬底顶部的振膜；衬底的中央区域设置有空腔，振膜通过空腔形成若干个悬臂梁，相邻两悬臂梁之间设置有空气狭缝；悬臂梁靠近衬底的中央区域一端为尖端，悬臂梁的尖端设置有通孔区域，通孔区域内设置有若干行通孔。本发明提供的高性能的微机械超声换能器，具有大带宽、低品质因数、应力不敏感的优势，可用于诸如距离监测、手势识别等超声波感测应用中。
主权项：1.一种高性能的微机械超声换能器，其特征在于，包括衬底和附着在所述衬底顶部的振膜；所述衬底的中央区域设置有空腔，所述振膜通过所述空腔形成若干个悬臂梁，相邻两所述悬臂梁之间设置有空气狭缝；所述悬臂梁靠近所述衬底的中央区域一端为尖端，所述悬臂梁的尖端设置有通孔区域，所述通孔区域内设置有若干行通孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华中科技大学 一种高性能的微机械超声换能器
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