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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本发明公开了一种提高碳化硅粉料合成效率的方法，包括：提供掺杂粉料、碳粉和硅粉，掺杂粉料为不污染碳化硅粉料的材料，且掺杂粉料的热导率大于碳粉的热导率；将碳粉、硅粉以及掺杂粉料按照预设的混料方式及预设的装填方式装入坩埚内，掺杂粉料用于降低坩埚内原料合成碳化硅粉料过程中的径向温度梯度；将坩埚放入碳化硅合成装置中，并基于自蔓延法进行碳化硅合成工艺。实现降低所述坩埚内原料合成碳化硅粉料过程中的径向温度梯度，提高碳化硅粉料的合成效率。
主权项：1.一种提高碳化硅粉料合成效率的方法，其特征在于，包括：提供掺杂粉料、碳粉和硅粉，所述掺杂粉料为不污染碳化硅粉料的材料，且所述掺杂粉料的热导率大于所述碳粉的热导率；将所述碳粉、所述硅粉以及所述掺杂粉料按照预设的混料方式及预设的装填方式装入坩埚内，所述掺杂粉料用于降低所述坩埚内原料合成碳化硅粉料过程中的径向温度梯度；将所述坩埚放入碳化硅合成装置中，并基于自蔓延法进行碳化硅合成工艺；所述将所述碳粉、所述硅粉以及所述掺杂粉料按照预设的混料方式及预设的装填方式装入坩埚内包括：将所述碳粉、所述硅粉以及所述掺杂粉料充分混匀形成第一原料；将所述第一原料装入所述坩埚内；所述掺杂粉料至少包括金刚石粉、石墨烯粉、碳纳米管粉、碳60粉的其中之一，所述掺杂粉料的重量大于或等于所述碳粉和所述硅粉总重量的1%，且小于或等于所述碳粉和所述硅粉总重量的3.5%；所述第一原料中的所述碳粉、所述硅粉的摩尔比为1:1。
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