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申请/专利权人：浙江龙际立尔半导体科技有限公司
摘要：本发明提供了一种镀膜设备用加热盘的盘面温度分布检测系统。它能够更好地检测加热盘盘面的温度是否均匀，确保加热盘盘面温度的均匀，保证加热盘在加热时的使用效果。本镀膜设备用加热盘的盘面温度分布检测系统，包括工作台，工作台上安装有一用于放置加热盘的底盘，底盘上方安装有一用于底盘降温的降温模块，底盘上还设置有一用于加热盘导电的导电模块，底盘底部连接有一用于加热盘盘面温度测量的检测模块，所述工作台上还安装有一用于加热盘上盘的上盘机构，上盘机构旁设置有一用于加热盘降温的冷却机构。本发明能够高效准确的检测出加热盘盘面温度分布的均匀情况。
主权项：1.一种镀膜设备用加热盘的盘面温度分布检测系统，包括工作台1，其特征在于，所述工作台1上安装有一用于加热盘上盘的上盘机构，所述上盘机构包括安装架24和夹取机构，安装架24上的弧形部25下方开设有齿槽，通过齿槽连接夹取机构，夹取机构上通过带轮结构连接有夹取模块，夹取模块由夹头30和控制器组成，所述夹取机构包连接件26、旋转电机27、安装块三28、移动电机29和夹取模块，所述连接件26滑动连接在安装架24弧形部25上，旋转电机27竖直安装在连接件26上，旋转电机27的输出轴上安装有齿轮，且齿轮能与弧形部25上的齿槽相啮合，旋转电机27下方连接有安装块三28，安装块三28内部安装有移动电机29，所述工作台1上还安装有一用于放置加热盘的底盘2，且底盘2位于上盘机构下方，所述底盘2上方安装有一用于底盘2降温的降温模块，底盘2上还设置有一用于加热盘导电的导电模块，底盘2底部连接有一用于加热盘盘面温度测量的检测模块，所述检测模块包括温度传感器17、热电信号转换器18和处理器19，所述温度传感器17安装在底盘2底部的检测孔9内，温度传感器17通过传输线连接有处理器19，处理器19放置在工作台1下方，传输线上安装有热电信号转换器18，所述上盘机构还旁设置有一用于加热盘降温的冷却机构。
全文数据：
权利要求：
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