龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本发明提供一种晶圆清洗设备的自动门装置，包括驱动组件、固定导向组件、连接组件和门板，固定导向组件包括多根设置在晶圆清洗设备上且沿第一方向延伸的固定导向杆；门板通过连接组件与多根固定导向杆活动连接，且与晶圆清洗设备的侧壁平行设置；驱动组件用于驱动连接组件带动门板沿固定导向杆运动，以使门板打开或封闭侧壁上的传输口。在本发明中，门板通过连接组件活动设置在多根沿第一方向延伸的固定导向杆上，从而可在驱动组件的驱动下沿第一方向平稳运动，避免门板在运动过程中发生振动或向第一方向以外的方向位移，提高了门板运动的平稳性和位置的准确性，进而提高了晶圆清洗设备中相应腔室的密封性能。本发明还提供一种晶圆清洗设备。
主权项：1.一种晶圆清洗设备的自动门装置，其特征在于，所述自动门装置包括驱动组件、固定导向组件、连接组件和门板，所述固定导向组件包括多根设置在所述晶圆清洗设备上且沿第一方向延伸的固定导向杆；所述门板通过所述连接组件与多根所述固定导向杆活动连接，且与所述晶圆清洗设备的侧壁平行设置；所述驱动组件用于驱动所述连接组件带动所述门板沿所述固定导向杆运动，以使所述门板打开或封闭所述侧壁上的传输口；所述连接组件还包括支撑板和活动板，所述支撑板贴附并固定在所述门板上，所述活动板通过所述支撑板与所述门板固定连接；所述自动门装置还包括沿第二方向分别设置在所述门板两侧的两个侧固定件，所述第二方向与所述第一方向垂直，两个所述侧固定件用于封闭部分所述传输口，并在两个所述侧固定件之间留出与所述门板形状对应的开口，两个所述侧固定件上分别形成有一个限位面，两个所述限位面相对设置，且两个所述限位面之间的距离与所述门板沿所述第二方向的尺寸对应；两个所述限位面上分别设置有一个密封板，两个所述密封板与所述门板平行且位于所述门板的同一侧，两个所述密封板在第一方向的长度均与所述开口在第一方向的尺寸对应，用于在所述门板封闭所述开口时遮挡所述门板的边缘与两个所述限位面之间的间隙；两个所述密封板朝向所述门板的一侧均设置有密封条，所述密封条用于在所述门板封闭传输口时，对所述门板的两侧与两个所述密封板之间的间隙进行密封。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 一种晶圆清洗设备及其自动门装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号