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申请/专利权人：西北工业大学
摘要：本发明公开了一种MEMS光栅调制器及制备工艺。MEMS光栅调制器主要由栅条层、键合层，绝缘层和基底层组成，所述栅条层的固定栅条和可移动栅条排布方式有两种：其一为沿栅条周期方向交错排布，其二为沿栅条长度和宽度方向交错排布。可移动栅条由周期排列的若干可动单元组成，可动单元由铰链和栅条实体构成。本发明通过新颖的栅条排布方式能够实现高工作频率和大尺寸的MEMS光栅调制器，另外本发明提出的MEMS光栅调制器制备工艺，采用了贯穿对准标记提高了光刻的加工精度，保证了器件的结构尺寸。
主权项：1.一种MEMS光栅调制器，主要包括从下而上依次设置的基底层、绝缘层、键合层和栅条层；其特征在于：所述栅条层主要包括若干固定栅条和可移动栅条，其排布方式为以下两种方式之一：方式一：固定栅条和可移动栅条沿栅条周期方向交错排布，所述的可移动栅条由多个独立的可动单元沿其长度或宽度方向一维阵列排布组成；方式二：所述固定栅条和可移动栅条分别为独立的固定单元和可动单元，固定栅条和可移动栅条沿栅条长度和宽度方向交错排布形成类似“棋盘”的结构；在上述任一种排布方式中，可移动栅条可在静电力的驱动下发生垂直于栅条层表面方向的平动，或发生绕栅条周期或长度方向的轴向偏转；在上述任一种排布方式中，所述可动单元包括栅条实体和铰链；所述铰链厚度小于栅条实体厚度，所述栅条实体通过铰链连接在与其相邻的固定栅条上；所述铰链可为多种形状的组合梁结构；在上述任一种排布方式中，固定栅条和可移动栅条的宽度相等或不等；所述键合层位于固定栅条和绝缘层之间，形成“三明治”夹层结构，键合层具有和固定栅条相应排布的形式。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西北工业大学 MEMS光栅调制器及制备方法
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