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申请/专利权人：德国艾托特克有限两合公司

摘要：本发明公开一种用于平面工件的湿式处理的设备的单元的装置，其包括包括第一13a及第二壁13b的结构。所述工件可在中心平面4中在第一方向y上移动通过所述第一壁13a与所述第二壁13b之间的空间3。用于将加压液体引入所述第一壁13a与所述第二壁13b之间的孔隙27提供于所述中心平面4的相对侧上且面向所述中心平面4。所述孔隙27在所述第一方向y及横向于所述第一方向y的第二方向x上分布。用于使所述液体离开所述空间3的排放开口28a、28b沿着所述空间3在所述第一方向y上的范围界定于在所述第二方向x上所见的相对侧上。所述第一壁13a及所述第二壁13b形成对来自所述空间的在垂直于所述中心平面4的方向z上的液体流的屏障。穿过所述壁13a、13b提供通道23a、23b、24a、24b，每一通道23a、23b、24a、24b经配置以将液体传导到所述孔隙27中的相应一者。

主权项：1.一种用于平面工件的湿式处理的设备的单元的装置，其包括：包括第一壁13a及第二壁13b的结构，其中所述工件可在中心平面4中在第一方向y上移动通过所述第一壁13a与所述第二壁13b之间的空间3，其中用于将加压液体引入所述第一壁13a与所述第二壁13b之间的孔隙27提供于所述中心平面4的相对侧上且面向所述中心平面4，其中所述孔隙27在所述第一方向y及横向于所述第一方向y的第二方向x上分布，其中用于使所述液体离开所述空间3的排放开口28a、28b沿着所述空间3在所述第一方向y上的范围界定于在所述第二方向x上所见的所述空间3的相对侧上，且其中所述第一壁13a及所述第二壁13b形成对来自所述空间在垂直于所述中心平面4的方向z上的液体流的屏障，其特征在于穿过所述壁13a、13b提供通道23a、23b、24a、24b，每一通道23a、23b、24a、24b经配置以将液体传导到所述孔隙27中的相应一者，其中至少一个液体分配空间17a，17b界定在所述第一壁13a和所述第二壁13b中的至少一个与所述空间3的相对侧上，并且所述液体分配空间17a，17b通过屏障16a,16b定界，所述屏障相对于所述壁13a,13b倾斜，使得所述液体分配空间17a，17b朝向所述壁13a,13b的边缘渐缩，且其中所述装置包括至少一个发散液体导管20a，20b，所述发散液体导管20a，20b和所述液体分配空间17a，17b通过所述屏障16a,16b界定于在第一液体分配装置2a及第二液体分配装置2b中的一者的外壳内的腔室12a,12b内，所述屏障16a,16b在所述腔室12a,12b内延伸。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 德国艾托特克有限两合公司 用于平面工件的湿式处理的设备、用于所述设备的单元的装置及操作所述设备的方法