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申请/专利权人：光驰科技(上海)有限公司
摘要：本实用新型涉及真空处理技术领域，具体公开了一种搬送装置及真空处理系统。该搬送装置包括第一送料机构、第二送料机构和移动机构；第一送料机构包括第一载台、第一伸缩组件和第一装载组件；第二送料机构包括第二载台、第二伸缩组件和第二装载组件。本实用新型中搬送装置能够合理规划搬送室与真空处理室之间，以及搬送室与外界之间对基板架的搬送移动，以此提高基板架的搬送效率，且仅需一个搬送装置和一个搬送室就能够满足真空处理设备自动化连续式工作，以此降低了成本，减少了搬送等待时间和抽真空的时间。
主权项：1.一种搬送装置，用于搬送基板架3，其特征在于，所述搬送装置包括：第一送料机构1，所述第一送料机构1包括第一载台11、第一伸缩组件14和第一装载组件15，所述第一伸缩组件14设于所述第一载台11上，所述第一伸缩组件14的驱动端连接所述第一装载组件15，用于驱动所述第一装载组件15沿第一方向和第二方向所在平面的任一方向移动；所述第一装载组件15用于装载所述基板架3；第二送料机构2，所述第二送料机构2包括第二载台21、第二伸缩组件23和第二装载组件24；所述第二伸缩组件23连接所述第二载台21，且所述第二伸缩组件23的驱动端连接所述第二装载组件24，用于驱动所述第二装载组件24沿所述第一方向和所述第二方向所在平面的任一方向移动；所述第一载台11和所述第二载台21沿第三方向间隔设置，所述第一伸缩组件14和所述第二伸缩组件23位于所述第一载台11和所述第二载台21之间；移动机构，所述移动机构的驱动端连接所述第一载台11和或第二载台21，用于驱动所述第一载台11和或第二载台21沿所述第三方向移动。
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权利要求：
百度查询： 光驰科技(上海)有限公司 一种搬送装置及真空处理系统
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