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申请/专利权人：安迈特科技(北京)有限公司
摘要：本公开提供一种组合式蒸发舟及真空蒸发镀膜设备，所述组合式蒸发舟设置于所述真空蒸发镀膜设备内部，包括：第一蒸发舟和第二蒸发舟。所述第一蒸发舟具有金属熔池，所述第一蒸发舟用于蒸发在所述金属熔池内熔化的靶材；所述第二蒸发舟与所述第一蒸发舟大致平行设置，所述第二蒸发舟在所述第一蒸发舟上的投影至少覆盖所述金属熔池，所述第二蒸发舟用于遮挡所述第一蒸发舟飞溅的靶材熔液，其中，所述第二蒸发舟与所述第一蒸发舟之间具有预设间距。所述第二蒸发舟可以阻挡金属丝熔化时产生的液滴飞溅至待镀膜的基材表面，避免飞溅的靶材熔液落在基材上，导致基材表面不平整，形成金属颗粒等缺陷，对后续工艺步骤造成影响。
主权项：1.一种组合式蒸发舟，其特征在于，包括：第一蒸发舟，具有金属熔池，所述第一蒸发舟用于蒸发在所述金属熔池内熔化的靶材；第二蒸发舟，与所述第一蒸发舟大致平行设置，所述第二蒸发舟在所述第一蒸发舟上的投影至少覆盖所述金属熔池，所述第二蒸发舟用于遮挡所述第一蒸发舟飞溅的靶材熔液，其中，所述第二蒸发舟与所述第一蒸发舟之间具有预设间距。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安迈特科技(北京)有限公司 组合式蒸发舟及真空蒸发镀膜设备
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