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申请/专利权人：睿创微电子(烟台)有限公司
摘要：本发明公开了一种增高用晶圆、红外探测器及增高用晶圆制备方法，应用于红外探测领域，增高用晶圆为一体成型的晶圆结构；增高用晶圆包括靠向器件晶圆的第一表面，和靠向窗口晶圆的第二表面；增高用晶圆中包括红外光通过区域，红外光通过区域中沿第一表面指向第二表面的方向，设置有与器件晶圆的有源区对应的通孔。本发明通过利用晶圆一体成型制备增高用晶圆，能够避免利用一片晶圆生产制备墙体和红外窗口时，墙体的高度受限的问题，且在应用晶圆级封装制备器件时，通过本发明中一体成型制备的增高用晶圆在保证制备效率的基础上，提高红外窗口与焦平面的距离，进而减弱窗口通光区缺陷对探测成像质量造成的影响，提高检测的准确度。
主权项：1.一种增高用晶圆，其特征在于，所述增高用晶圆为一体成型的晶圆结构；所述增高用晶圆包括靠向器件晶圆（2）的第一表面（11），和靠向窗口晶圆（3）的第二表面（12）；所述增高用晶圆中包括红外光通过区域，所述红外光通过区域中沿所述第一表面（11）指向所述第二表面（12）的方向，设置有与所述器件晶圆（2）的有源区对应的通孔（10）。
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百度查询： 睿创微电子(烟台)有限公司 一种增高用晶圆、红外探测器及增高用晶圆制备方法
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