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申请/专利权人:四川九天真空科技有限公司
摘要:本申请提供一种真空规,涉及气压测试技术领域。真空规包括:测试腔体、参考腔体、膜片和清洁组件;其中,膜片设置在测试腔体和参考腔体之间;测试腔体与外部的被测设备连接;清洁组件固定设置在测试腔体中,清洁组件设置在膜片和被测设备之间,清洁组件优先接触被测设备输出的介质;其中,清洁组件中设置有通孔;在测试腔体的输入情况下,清洁组件用于基于通孔对测试腔体中流经的介质进行传递和导流,并基于导流,引导介质传输至膜片靠近清洁组件的目标面。通过设置的清洁组件对介质进行传输和导流,能够在不影响真空规正常工作的情况下,实现对膜片的自动清洁功能,减少膜片上的沉积和侵蚀情况,有效地提高了测试精度,延长真空规的使用寿命。
主权项:1.一种真空规,其特征在于,所述真空规包括:测试腔体、参考腔体、膜片和清洁组件;其中,所述膜片设置在所述测试腔体和所述参考腔体之间;所述测试腔体与外部的被测设备连接;所述清洁组件固定设置在所述测试腔体中,所述清洁组件设置在所述膜片和所述被测设备之间,所述清洁组件优先接触所述被测设备输出的介质;其中,所述清洁组件中设置有通孔;在所述测试腔体的输入情况下,所述清洁组件用于基于所述通孔对所述测试腔体中流经的所述介质进行传递和导流,并基于导流,引导所述介质传输至所述膜片靠近所述清洁组件的目标面。
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