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申请/专利权人：安徽安努奇科技有限公司
摘要：本发明公开了一种异质集成滤波器及其制作方法，制作方法包括：制作第一声学结构，其中，第一声学结构包括第一重布线层以及依次层叠设置的基底结构、第一电极、压电层、第二电极和盖板结构层；部分第一重布线层位于第一表面上，第一重布线层与第一电极和第二电极电连接；第一表面的平均粗糙度Ra小于50nm；第一表面为盖板结构层远离基底结构的表面，或者第一表面为基底结构远离第一电极的表面；在第一声学结构的第一表面制作电容结构，其中，电容结构包括依次层叠设置的底电极、介质层及顶电极。本发明提供了一种异质集成滤波器及其制作方法，既提高了异质集成滤波器中电容结构的容值测量准确率，也提高了异质集成滤波器的良率。
主权项：1.一种异质集成滤波器的制作方法，其特征在于，包括：制作第一声学结构，其中，所述第一声学结构包括第一重布线层以及依次层叠设置的基底结构、第一电极、压电层、第二电极和盖板结构层；部分所述第一重布线层位于第一表面上，所述第一重布线层与所述第一电极和所述第二电极电连接；所述第一表面的平均粗糙度Ra小于50nm；所述第一表面为所述盖板结构层远离所述基底结构的表面，或者所述第一表面为所述基底结构远离所述第一电极的表面；在所述第一声学结构的第一表面上制作电容结构，其中，所述电容结构包括依次层叠设置的底电极、介质层及顶电极。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽安努奇科技有限公司 一种异质集成滤波器及其制作方法
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