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申请/专利权人：江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司
摘要：本发明的实施例提供一种镀膜设备、镀膜方法、膜层以及器件。该镀膜设备包括：镀膜腔体，包括用于放置待镀膜的基材的镀膜腔室；液体进料装置，与所述镀膜腔室相连通，用于输送液体原料经气化后的第一气体原料至所述镀膜腔室内；固体进料装置，与所述镀膜腔室相连通，用于输送固体原料经升华裂解后的第二气体原料至所述镀膜腔室内。根据本发明的实施例，通过可控进料和镀膜工艺的精确控制，提升膜层质量和膜厚灵活控制。
主权项：1.一种镀膜设备，其特征在于，包括：镀膜腔体，包括用于放置待镀膜的基材的镀膜腔室；液体进料装置，与所述镀膜腔室相连通，用于输送液体原料经气化后的第一气体原料至所述镀膜腔室内；以及固体进料装置，与所述镀膜腔室相连通，用于输送固体原料经升华裂解后的第二气体原料至所述镀膜腔室内；其中，所述固体进料装置包括：料仓，用于放置所述固体原料；升华室，用于对所述固体原料进行加热升华；转盘下料机构，用于将所述料仓内的所述固体原料可控地输送到所述升华室内；以及裂解炉，用于将所述固体原料升华后的气体裂解成所述第二气体原料，并将所述第二气体原料输送到所述镀膜腔室中。
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百度查询： 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司 镀膜设备、镀膜方法、膜层以及器件
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