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申请/专利权人：季华实验室
摘要：本发明提供了一种磁各向异性薄膜及其制备方法。本发明的磁各向异性薄膜，通过在CoFeB层之间MgO层插入Zr层，或，在MgO层和保护层之间插入Zr层，同时Zr层的厚度≤1nm，本发明选择Zr原子作为与MgO反应的对象，通过改变Zr层的厚度对薄膜进行氧调控，从而引起薄膜磁各向异性的改变；本发明的磁各向异性薄膜的制备方法，制备过程中无需通入除氩气外的气体，也不需要经过高温高真空退火处理，仅通过改变Zr层的厚度，调控MgO的氧含量，进而影响薄膜磁各向异性，即可调控薄膜的磁各向异性，该方法制备过程工艺简单，控制方便、效率高、成本低廉。
主权项：1.一种磁各向异性薄膜，其特征在于，包括：基底以及位于所述基底一侧面且依次层叠设置的金属非磁层、CoFeB层、Zr层、MgO层以及保护层；或，所述磁各向异性薄膜包括：基底以及位于所述基底一侧面且依次层叠设置的金属非磁层、CoFeB层、MgO层、Zr层以及保护层；其中，所述Zr层的厚度≤1nm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 季华实验室 一种磁各向异性薄膜及其制备方法
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