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申请/专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
摘要：本发明公开了一种喷淋板测温平台，该喷淋板测温平台包括：平台、上盖板、喷淋板、加热元件和多个测温元件，上盖板，盖合在所述平台上，所述上盖板与所述平台之间形成有空腔；喷淋板，设于所述空腔中并安装于所述上盖板，所述喷淋板的上表面布置有多个位置不同的测温点；加热元件，设于所述平台和或所述上盖板，所述加热元件配置为对所述喷淋板进行加热；多个测温元件，穿过所述上盖板并对多个所述测温点一一对应进行测温。本申请可以测量出喷淋板上多个不同位置的温度，无需人为安装晶圆测试小块，位置具有重复性且位置更加精准，能够满足对特定位置检测温度的需求，提高了测温的准确性，而且不会脱落，提高了测温的可靠性。
主权项：1.一种喷淋板测温平台，其特征在于，包括：平台；上盖板，盖合在所述平台上，所述上盖板与所述平台之间形成有空腔；喷淋板，设于所述空腔中并安装于所述上盖板，所述喷淋板的上表面布置有多个位置不同的测温点；加热元件，设于所述平台和或所述上盖板，所述加热元件配置为对所述喷淋板进行加热；多个测温元件，穿过所述上盖板并对多个所述测温点一一对应进行测温。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆科技(上海)有限公司 喷淋板测温平台
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