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申请/专利权人：浙江奥首材料科技有限公司
摘要：本发明涉及一种显示面板Al酸蚀刻液、其制备方法及用途。所述显示面板Al酸蚀刻液，按照重量份计算，包括如下组分：有机酸65‑80份；无机酸5‑10份；硝酸盐1‑3份；添加剂0.5‑2.5份；超纯水15‑25份。本发明蚀刻液蚀刻过程温和，不会对基板上的精密单元造成损失破坏。本发明蚀刻液中使用添加剂能够作为协同缓蚀剂减缓Mo层金属蚀刻，避免色差Mura现象的产生。本发明蚀刻液的均一性好，基板经过蚀刻后，基板边缘及各个部位的参数相差较小，且无蚀刻残留。
主权项：1.一种显示面板Al酸蚀刻液，其特征在于，按照重量份计算，包括如下组分：有机酸65-80份；无机酸5-10份；硝酸盐1-3份；添加剂0.5-2.5份；超纯水15-25份。
全文数据：
权利要求：
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