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申请/专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
摘要：本申请的实施例公开了一种六轴力传感器及其制造方法，其中六轴力传感器包括：受力块；支撑框架，支撑框架围绕受力块，且受力块与支撑框架之间具有间隙；多组弹性件，多组弹性件设于间隙内，并分别与受力块和支撑框架连接，多组弹性件将间隙分隔成多个第一形变腔；若干力敏电阻，若干力敏电阻设置在弹性件中，以构成六组惠斯通电桥，分别用于测量第一力、第二力、第三力、第一力矩、第二力矩以及第三力矩；每组弹性件包括一对间隔设置的弹性梁；任意一对弹性梁与受力块和支撑框架围合成第二形变腔。根据本申请，其双弹性梁结构为力敏电阻提供了可布置的空间，实现了测量力、力矩与非测量力、力矩间的自解耦，提高了本申请的六轴力传感器的精准性。
主权项：1.一种六轴力传感器，其特征在于，包括：受力块；支撑框架，所述支撑框架围绕所述受力块，且所述受力块与所述支撑框架之间具有间隙；多组弹性件，多组所述弹性件设于所述间隙内，并分别与所述受力块和所述支撑框架连接，多组所述弹性件将所述间隙分隔成多个第一形变腔，所述第一形变腔用于容纳所述弹性件的变形；若干力敏电阻，所述若干力敏电阻设置在所述弹性件中，以构成六组惠斯通电桥，分别用于测量第一力、第二力、第三力、第一力矩、第二力矩以及第三力矩；每组所述弹性件包括一对间隔设置的弹性梁；任意一对所述弹性梁与所述受力块和所述支撑框架围合成第二形变腔，所述第二形变腔用于容纳所述弹性梁的变形。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 六轴力传感器及其制造方法
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