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申请/专利权人：江苏峰博装备技术有限公司
摘要：本发明涉及晶圆加工设备技术领域，具体是涉及一种翘曲晶圆回流加工用移载装置，包括加热输送晶圆体的连续加热移载装置，连续加热移载装置包括引导转台、气流引导柱、移动加热仓和移动放置装置，引导转台上安装有多个移动加热仓，气流引导柱安装在引导转台轴心位置，气流引导柱的一端与移动加热仓连接，气流引导柱远离移动加热仓的一端与加热设备和抽吸设备连接，多个移动放置装置均匀分布在引导转台的上料端和下料端，移动放置装置用于装卸移动加热仓中的晶圆体，移动加热仓由加热承载仓和按压密封盖拼装组成，本发明可有效连续加热输送晶圆体提高工作效率。
主权项：1.一种翘曲晶圆回流加工用移载装置，包括加热输送晶圆体（6）的连续加热移载装置，其特征在于，连续加热移载装置包括引导转台（1）、气流引导柱（5）、移动加热仓和移动放置装置（4）；引导转台（1）上安装有多个移动加热仓，引导转台（1）用于驱动移动加热仓进行定位移动，同时引导转台（1）转动时还控制移动加热仓进行移动开合；气流引导柱（5）安装在引导转台（1）轴心位置，气流引导柱（5）的一端与移动加热仓连接，气流引导柱（5）远离移动加热仓的一端与加热设备和抽吸设备连接；多个移动放置装置（4）均匀分布在引导转台（1）的上料端和下料端，移动放置装置（4）用于装卸移动加热仓中的晶圆体（6）；移动加热仓由加热承载仓（2）和按压密封盖（3）拼装组成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏峰博装备技术有限公司 一种翘曲晶圆回流加工用移载装置
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