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感测设备 

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申请/专利权人:松下知识产权经营株式会社

摘要:一种感测设备,包括:能够在第一模式和第二模式下运动的谐振构件;以及电极。所述谐振构件具有电容性表面部分,所述电容性表面部分面对并且电容性地耦合到所述电极的电容性表面部分。在所述第一模式下沿所述谐振构件的电容性表面部分的每个点的位移与该点基本上相切。

主权项:1.一种感测设备,包括:能够在第一模式和第二模式下运动的谐振构件;第一电极;以及第二电极,其中所述谐振构件具有第一电容性表面部分和第二电容性表面部分,所述第一电容性表面部分和所述第二电容性表面部分分别面对并且电容性地耦合到所述第一电极的第三电容性表面部分和所述第二电极的第四电容性表面部分,所述谐振构件的所述第一电容性表面部分和所述第二电容性表面部分是弯曲的,其中在所述第一模式下沿所述谐振构件的所述第一电容性表面部分和所述第二电容性表面部分中的每一个的每个点的位移与该点基本上相切,所述谐振构件包括主体、第一突出部和第二突出部,所述第一突出部一体地连接到所述主体并且从所述主体突出,并且所述第二突出部一体地连接到所述主体并且从所述主体突出,所述第一突出部和所述第二突出部分别限定所述谐振构件的所述第一电容性表面部分和所述第二电容性表面部分,当在第一方向上对所述谐振构件施加驱动力以使所述谐振构件振动期间所述谐振构件的所述第二电容性表面部分的位移沿所述第二电容性表面部分基本上相切时,所述第二电容性表面部分与所述第二电极的所述第四电容性表面部分之间在第二方向上的距离保持基本上恒定。

全文数据:

权利要求:

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