龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：深圳市港祥辉电子有限公司
摘要：本发明公开了一种石墨烯终端欧姆接触电极金刚石核探测器及其制备方法，涉及半导体技术领域，包括本征金刚石层，所述本征金刚石层位于核探测器的器件中间位置，所述本征金刚石层的上方和下方均依次设置有石墨烯层、金属层以及钝化层，所述核探测器采用石墨烯层与金属层形成欧姆接触电极。钝化层采用倍半硅氧烷改性聚酰亚胺；器件内部输运特性良好，电荷收集率高，有效降低了器件中本征金刚石到金属电极部分的缺陷密度，能实现器件的低阻接触，且其抗电迁移的特性良好，具备高压和大电流工作条件。
主权项：1.一种石墨烯终端欧姆接触电极金刚石核探测器，其特征在于，包括本征金刚石层，所述本征金刚石层位于核探测器的器件中间位置，所述本征金刚石层的上方和下方均设置有石墨烯层，位于本征金刚石层上下两侧的石墨烯层的表面均设置有金属层，两侧的金属层的表面均设置有钝化层，所述钝化层位于核探测器的器件表面上；所述核探测器采用石墨烯层与金属层形成欧姆接触电极;所述钝化层采用倍半硅氧烷改性聚酰亚胺，制备方法为：A1:按重量份，在搅拌反应器中注入氮气，加入400-600份的N-甲基-吡咯烷酮，将反应器的温度设置为30-40℃，添加10-20份对苯二胺，0.05-0.5份1,1'-二氨基二茂铁；0.05-0.5份氨基丙基庚基-笼形聚倍半硅氧烷，及30-60份均苯四甲酸二酐，在氮气气氛下将温度升至40-50℃进行加热的同时搅拌100-200分钟之后，得到聚酰胺酸;A2:将聚酰胺酸通过1000-2000rpm以上的高速旋转去除了气泡，然后利用旋涂机将涂敷至两侧的金属层3的表面上，在氮气气氛下和100-130℃的温度下，进行30-50分钟的干燥以制备凝胶膜，将所述凝胶膜的温度以2-5℃分钟的速度升温至430-480℃，进行60-100分钟的热处理，通过以2-5℃分钟的速度冷却至30-40℃而获得倍半硅氧烷改性聚酰亚胺。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市港祥辉电子有限公司 石墨烯终端欧姆接触电极金刚石核探测器及其制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号