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申请/专利权人：拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要：本实用新型提供了一种石英窗及紫外光固化机台。所述石英窗设于紫外光源与待紫外固化的晶圆之间。所述石英窗包括：石英基片，用于向所述晶圆透射所述紫外光源提供的紫外固化波段的第一光线；以及保护层，位于所述石英基片与所述紫外光源之间，用于反射所述紫外光源提供的小于所述紫外固化波段的第二光线，以保护所述石英基片。
主权项：1.一种石英窗，设于紫外光源与待紫外固化的晶圆之间，其特征在于，所述石英窗包括：石英基片，用于向所述晶圆透射所述紫外光源提供的紫外固化波段的第一光线；以及保护层，位于所述石英基片与所述紫外光源之间，用于反射所述紫外光源提供的小于所述紫外固化波段的第二光线，以保护所述石英基片。
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