买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：富士胶片株式会社

摘要：本发明为含有具有聚亚烷氧基及聚合性基团且选自由聚酰亚胺及聚酰亚胺前体组成的组中的至少一种树脂、聚合引发剂、聚合性化合物及溶剂的固化性树脂组合物、将上述固化性树脂组合物固化而成的固化膜、包含上述固化膜的层叠体、上述固化膜的制造方法及包含上述固化膜或上述层叠体的半导体器件以及聚酰亚胺或聚酰亚胺前体。

主权项：1.一种固化性树脂组合物，其含有：具有聚亚烷氧基及聚合性基团且选自由聚酰亚胺及聚酰亚胺前体组成的组中的至少一种树脂；聚合引发剂；聚合性化合物；及溶剂，所述树脂在侧链上具有所述聚亚烷氧基，所述树脂包含下述式1-3表示的重复单元、或者所述树脂包含下述式1-4C表示的重复单元并且在其他部位具有聚合性基团， 式1-3中，L1表示b+2价连接基、并且包含选自下述式A-1～A-5表示的结构中的至少一种所表示的结构，X2表示酯键、氨基甲酸酯键、脲键、酰胺键或醚键，L2表示单键或a+1价连接基，X1表示下述式1-1表示的结构，a表示1以上的整数，b表示1以上的整数，L4表示下述式L4-1或式L4-2表示的结构，存在多个X2、L2、X1或a时，多个X2、L2、X1或a相同或者不同， 式A-1～A-5中，RA11～RA14、RA21～RA24、RA31～RA38、RA41～RA48及RA51～RA58分别独立地表示氢原子、烷基、环状烷基、烷氧基、羟基、氰基、卤代烷基、卤素原子、或者与所述式1-3中的X2的键合部位，LA31及LA41分别独立地表示单键、羰基、磺酰基、2价饱和烃基、2价不饱和烃基、杂原子、杂环基或卤代亚烷基，RA11～RA14、RA21～RA24、RA31～RA38、RA41～RA48及RA51～RA58中，各自有b个为与所述式1-3中的X2的键合部位，*分别独立地表示与其他结构的键合部位， 式1-1中，R1分别独立地表示氢原子或烷基，Z1表示包含聚合性基团的基团，n表示2以上的整数，m表示2以上的整数，*表示与其他结构的键合部位， 式L4-1或式L4-2中，R115表示4价有机基团，A1及A2分别独立地表示氧原子或-NH-，R113及R114分别独立地表示氢原子或1价有机基团， 式1-4C中，LB5表示nB2+2价连接基、并且包含选自所述式A-1～A-5表示的结构中的至少一种所表示的结构，XB2表示酯键、氨基甲酸酯键、脲键、酰胺键或醚键，XB1表示下述式1-2C表示的结构，nB2表示1以上的整数，LB4表示所述式L4-1或所述式L4-2表示的结构，存在多个XB1或XB2时，多个XB1或XB2相同或者不同，*-LB3-LX-RB21-2C式1-2C中，LB3表示单键或2价连接基，LX表示下述式1-1B表示的结构，RB2表示氢原子、烷基、芳基或卤素原子， 式1-1B中，RB1分别独立地表示氢原子或烷基，nB表示2以上的整数，mB表示2以上的整数，*分别独立地表示与其他结构的键合部位。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 富士胶片株式会社 固化性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法、半导体器件及聚酰亚胺或聚酰亚胺前体