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申请/专利权人：天津洙诺科技有限公司
摘要：本实用新型提供了一种硅片生产抛光液反应检测装置，属于硅片生产技术领域。该硅片生产抛光液反应检测装置包括存储过滤机构和混合搅拌机构。存储过滤机构包括箱体、第一换热盘管和第二换热盘管，箱体内部设置有隔板将箱体分隔为过滤腔和存储腔，且隔板上方设置有滤板件，第一换热盘管和第二换热盘管分别设置在滤腔和存储腔两侧壁以及背部内侧。通过第一换热盘管将对抛光液进行一次加热处理。过滤后的抛光液进入至存储腔中，第二换热盘管将对存储腔中的抛光液进行二次加热。通过电机带动传动轴转动，转动的传动轴同时带动第一搅拌叶和第二搅拌叶转动，分别将过滤腔以及存储腔中的抛光液快速混匀成为恒温状态。
主权项：1.一种硅片生产抛光液反应检测装置，其特征在于，包括存储过滤机构10，所述存储过滤机构10包括箱体110、第一换热盘管130和第二换热盘管140，所述箱体110内部设置有隔板120将所述箱体110分隔为过滤腔和存储腔，所述隔板120中部设置有槽口，且所述隔板120上方设置有滤板件150，所述第一换热盘管130和所述第二换热盘管140分别设置在滤腔和存储腔两侧壁以及背部内侧，过滤腔和存储腔内部分别设置有第一温度传感器160以及第二温度传感器170，所述箱体110顶部设置有加料口，且所述箱体110底部一侧设置有出料口；混合搅拌机构20，所述混合搅拌机构20包括电机210、传动轴220、第一搅拌叶230和第二搅拌叶240，所述电机210安装在所述箱体110顶部，所述传动轴220顶端转动贯穿于所述箱体110顶壁与所述电机210输出轴端连接，所述传动轴220底端活动贯穿于所述滤板件150，所述第一搅拌叶230和所述第二搅拌叶240分别位于过滤腔和存储腔内部与所述传动轴220固定连接。
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