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申请/专利权人：淮安捷泰新能源科技有限公司
摘要：一种硅烷进气管及基于LPCVD技术的反应炉管，属于太阳能电池制造领域，所述硅烷进气管沿其长度方向上设置有若干组弥散支路，所述弥散支路上设置有若干气孔，所述气孔上可拆卸连接有排气件；反应炉管包括炉管和一根硅烷进气管，硅烷进气管横向设置于炉管内靠近侧壁的位置，炉管的两端均设置有炉端盖，穿过一端的炉端盖固定设置有气体输送管，硅烷进气管与气体输送管固定连接，与气体输送管同侧的炉端盖上设置有排气管。本实用新型的有益效果是：在硅烷进气管上设置支路并在支路末端设置有排气件，可降低生产成本避免出现硅烷出气不充分导致的产品异常，弥散支路使炉管内只需设置一根进气管，提高了生产效率可适应不同生产需求。
主权项：1.一种硅烷进气管，其特征在于，所述硅烷进气管1沿其长度方向上设置有若干组弥散支路2，所述弥散支路2上设置有若干弥散孔，所述弥散孔上可拆卸连接有排气件。
全文数据：
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百度查询： 淮安捷泰新能源科技有限公司 一种硅烷进气管及基于LPCVD技术的反应炉管
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