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申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司
摘要：本申请提供一种气体流量控制方法及装置。该方法应用于蚀刻装置，蚀刻装置包括流量控制器和反应腔；反应腔连接气源，流量控制器用于控制气源向反应腔输气时的输入气体流量；该方法包括：获取输气状态下反应腔的压强信息；根据压强信息，确定实际输入气体流量；根据目标输入气体流量，控制流量控制器调节实际输入气体流量，使实际输入气体流量与目标输入气体流量的差值在预设误差范围内。本申请根据反应腔的压强信息获取当前流量控制器参数设置下所对应的实际输入气体流量，进而按照目标输入气体流量调节该实际输入气体流量使二者趋于一致，提高了输入气体流量的准确性，进而有利于提高蚀刻稳定性。
主权项：1.一种气体流量控制方法，其特征在于，应用于蚀刻装置，所述蚀刻装置包括流量控制器和反应腔；所述反应腔连接气源，所述流量控制器用于控制所述气源向所述反应腔输气时的输入气体流量；所述方法包括：获取输气状态下所述反应腔的压强信息；根据所述压强信息，确定实际输入气体流量；根据目标输入气体流量，控制所述流量控制器调节所述实际输入气体流量，使所述实际输入气体流量与所述目标输入气体流量的差值在预设误差范围内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长鑫存储技术有限公司 气体流量控制方法及装置
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