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申请/专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
摘要：本发明提供一种用于保护压力计的缓冲器，缓冲器置于连接反应腔室与压力计的联通管内，包括：上半部结构及下半部结构，上半部结构包括呈半圆柱体的上外围固定部及多个圆形的上实心缓冲板，且上实心缓冲板间隔嵌套于上外围固定部的同一侧；下半部结构包括呈半圆柱体的下外围固定部、多个圆形的下实心缓冲板及至少一个圆形的带孔缓冲板，且各下实心缓冲板及带孔缓冲板均间隔嵌套于下外围固定部的同一侧，带孔缓冲板位于下外围固定部的边缘处，且在置于连通管内时，带孔缓冲板所处的一端靠近压力计。通过本发明解决了现有的压力计因弹性元件被腐蚀或堆积生成物而导致弹性功能受损的问题。
主权项：1.一种用于保护压力计的缓冲器，其特征在于，所述缓冲器置于连接反应腔室与压力计的联通管内，包括：上半部结构及下半部结构，所述上半部结构包括呈半圆柱体的上外围固定部及多个圆形的上实心缓冲板，且所述上实心缓冲板间隔嵌套于所述上外围固定部的同一侧；所述下半部结构包括呈半圆柱体的下外围固定部、多个圆形的下实心缓冲板及至少一个圆形的带孔缓冲板，且各所述下实心缓冲板及所述带孔缓冲板均间隔嵌套于所述下外围固定部的同一侧，所述带孔缓冲板位于所述下外围固定部的边缘处，且在置于所述联通管内时，所述带孔缓冲板所处的一端靠近所述压力计；其中，所述上外围固定部与所述下外围固定部可拆卸地连接形成一圆柱体，此时，各所述上实心缓冲板与各所述下实心缓冲板交错设置，且各所述上实心缓冲板与各所述下实心缓冲板的半径均大于形成的圆柱体半径的一半。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 用于保护压力计的缓冲器
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