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申请/专利权人：细美事有限公司
摘要：本发明构思的实施例提供一种用于处理衬底的装置。所述用于处理衬底的装置包括：在内部具有处理空间的壳体；在所述空间中支撑衬底的衬底支撑单元；将液体供应到由所述衬底支撑单元支撑的衬底的液体供应单元；以及在所述处理空间中产生气流的气流产生单元，其中所述气流产生单元包括：在所述处理空间中供应第一气体的下降气流的第一气体供应单元；和在所述空间中供应与所述第一气体相比具有更低的湿度的第二气体的第二气体供应单元，当从上方观察时，所述第一气体供应单元和所述第二气体供应单元彼此不重叠。
主权项：1.一种用于处理衬底的装置，所述装置包括：壳体，其在内部具有处理空间；衬底支撑单元，其在所述处理空间中支撑衬底；液体供应单元，其将液体供应到由所述衬底支撑单元支撑的衬底；以及气流产生单元，其在所述处理空间中产生气流，其中所述气流产生单元包括：第一气体供应单元，其在所述处理空间中供应第一气体的下降气流；以及第二气体供应单元，其在所述处理空间中供应与所述第一气体相比具有更低的湿度的第二气体，其中当从上方观察时，所述第一气体供应单元和所述第二气体供应单元彼此不重叠，其中所述第一气体供应单元包括安装在所述壳体的顶侧上的风机过滤器，其中所述第二气体供应单元包括：排放主体，其在内部限定流体通道并且具有与所述流体通道连接的排放口，所述第二气体流动通过所述流体通道；以及引导构件，其引导所述第二气体的流动以在所述流体通道中延长所述第二气体的路径，其中所述排放口形成在所述排放主体的排放表面上，并且所述排放主体包括引入所述第二气体的引入口，其中所述引导构件包括内部构件，其位于所述流体通道中并且当朝向所述排放口观察时围绕所述排放口，其中所述内部构件与所述排放表面和所述排放表面的相对表面中的一者联接并且与所述排放表面和所述相对表面中的另一者间隔开。
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