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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：在基板处理装置100中，控制部102基于第一流量计112b的测量结果计算从第一成分液体供给部112经由第一配管112a而供给至贮存槽116的第一成分液体的第一供给量，基于第二流量计114b的测量结果计算从第二成分液体供给部114经由第二配管114a而供给至贮存槽116的第二成分液体的第二供给量；在成分液体供给期间中基于第一供给量以及第二供给量来控制第一成分液体供给部112以及第二成分液体供给部114，成分液体供给期间为第一成分液体供给部112经由第一配管112a供给第一成分液体的期间以及第二成分液体供给部114经由第二配管114a供给第二成分液体的期间中的至少一个期间。
主权项：1.一种基板处理装置，其中，具有：第一成分液体供给部，经由第一配管供给第一成分液体，第一流量计，测量所述第一成分液体在所述第一配管中流动的流量，第二成分液体供给部，经由第二配管供给第二成分液体，第二流量计，测量所述第二成分液体在所述第二配管中流动的流量，贮存槽，贮存混合了从所述第一成分液体供给部供给的所述第一成分液体以及从所述第二成分液体供给部供给的所述第二成分液体的混合液，基板处理单元，通过从所述贮存槽供给的所述混合液来处理基板，浓度传感器，检测所述贮存槽内的所述混合液中的对象成分的浓度，以及控制部，基于所述浓度传感器的检测结果来控制所述第一成分液体供给部以及所述第二成分液体供给部；所述控制部，基于所述第一流量计的测量结果计算从所述第一成分液体供给部经由所述第一配管而供给至所述贮存槽的所述第一成分液体的第一供给量，基于所述第二流量计的测量结果计算从所述第二成分液体供给部经由所述第二配管而供给至所述贮存槽的所述第二成分液体的第二供给量，以及在成分液体供给期间，基于所述第一供给量以及所述第二供给量来控制所述第一成分液体供给部以及所述第二成分液体供给部，所述成分液体供给期间为所述第一成分液体供给部经由所述第一配管供给所述第一成分液体的期间以及所述第二成分液体供给部经由所述第二配管供给所述第二成分液体的期间中的至少一个期间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置以及基板处理方法
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