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一种石英坩埚制备装置及其制备方法 

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申请/专利权人:常州裕能石英科技有限公司

摘要:本发明属于无机非金属材料制造技术领域,尤其是涉及一种石英坩埚制备装置及其制备方法,包括底座,还包括:熔制放置机构、电弧加热机构、坩埚壁厚检测反馈机构、升温控制机构、排气温度调节机构、排气时间控制机构和升温速度转换机构。本发明能够基于待加工坩埚的壁厚厚度自动调控加热过程中模具的旋转速度,能够基于坩埚的壁厚对整个电弧加热工作的升温速度进行自动调控,实现坩埚的壁厚越大,升温速度越慢,能够基于坩埚的壁厚对所需的排气温度进行自动调控,实现坩埚壁厚越大,最终的排气温度值越高,能够基于坩埚的壁厚对排气的时间进行自动调控。

主权项:1.一种石英坩埚制备装置,包括底座(1),其特征在于,还包括:熔制放置机构(2),固定安设在所述底座(1)的上端;电弧加热机构(3),固定安设在所述底座(1)的上端,并设置在所述熔制放置机构(2)的一侧;坩埚壁厚检测反馈机构(4),固定安设在所述底座(1)的上端,用于对待熔制的坩埚壁厚进行快速测量;升温控制机构(5),固定安设在所述底座(1)的上端,用于对电弧加热机构(3)的加热温度进行控制;排气温度调节机构(6),安设在所述升温控制机构(5)的上端,用于对坩埚的最终排气温度进行调节;排气时间控制机构(7),固定安设在所述升温控制机构(5)的上端,用于对坩埚升温排气工作的时间进行调控;升温速度转换机构(8),固定安设在所述升温控制机构(5)的上端,并与所述排气时间控制机构(7)传动连接。

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