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申请/专利权人：江苏联芯半导体科技有限公司

摘要：本发明涉及升降平台技术领域，尤其为一种半导体扩散炉炉膛维护用升降平台，包括炉膛本体、升降结构和移动组件，升降结构下端内部设有移动组件，升降结构上端固定连接有滑支板组件，滑支板组件上端设有推压组件，推压组件一侧固定连接有夹持组件，夹持组件内侧固定连接有缓冲设备，夹持组件内侧设有固定啮合组件，本发明中，装置可以根据炉膛本体的直径，对炉膛本体进行夹持，从而对炉膛本体进行限位，防止在运输时炉膛本体偏离装置，同时在对炉膛本体进行限位时，可以减少装置与炉膛本体接触后对炉膛本体造成的损坏，同时减少炉膛本体发生晃动的幅度，提高炉膛本体运输时的稳定性，保护炉膛本体的正常使用。

主权项：1.一种半导体扩散炉炉膛维护用升降平台，包括炉膛本体（1）、升降结构（2）和移动组件（3），其特征在于：所述升降结构（2）下端内部设有移动组件（3），所述升降结构（2）上端固定连接有滑支板组件（4），所述滑支板组件（4）上端设有推压组件（5），所述推压组件（5）一侧固定连接有夹持组件（6），所述夹持组件（6）内侧固定连接有缓冲设备（7），所述夹持组件（6）内侧设有固定啮合组件（8），所述升降结构（2）上端设有通油组件（9），所述缓冲设备（7）一侧与炉膛本体（1）外侧贴合，所述升降结构（2）包括底支盘（21），所述底支盘（21）上端固定连接有伸缩空滑杆（22），所述底支盘（21）上端固定连接有电动伸缩杆（23），所述底支盘（21）上端内侧开设有装油管槽（24），所述底支盘（21）下端内侧开设有脚动槽（25），所述底支盘（21）靠近装油管槽（24）下端的内侧开设有折油通槽（26），所述移动组件（3）包括万向轮（31），所述万向轮（31）上端设有连脚杆（32），所述连脚杆（32）上端固定连接有浮动主板（34），所述浮动主板（34）外侧固定连接有第三密封环（35），所述浮动主板（34）下端固定连接有第五弹簧（33），所述浮动主板（34）上端固定连接有第四弹簧（36），所述滑支板组件（4）包括山支板（41），所述山支板（41）靠近边滑柱杆（42）的内侧开设有减摩滑槽（44），所述减摩滑槽（44）内侧固定连接有边滑柱杆（42），所述山支板（41）上端内侧开设有稳中转槽（43），所述山支板（41）上端固定连接有弧支块（45），所述弧支块（45）上端固定连接有半橡胶球（46），所述推压组件（5）包括减摩夹块（51），所述减摩夹块（51）内侧开设有柱滑体槽（52），所述减摩夹块（51）下端内侧开设有螺纹预留口（53），所述螺纹预留口（53）内侧螺旋连接有双向螺纹杆（54），所述双向螺纹杆（54）一侧与电机（55）主轴末端固定连接，所述夹持组件（6）包括转贴板（61），所述转贴板（61）靠近弧转固板（63）的一端内侧开设有弧转限槽（62），所述弧转限槽（62）内侧通过轴转杆（64）转动连接有弧转固板（63），所述弧转固板（63）外侧固定连接有第三弹簧（65），所述转贴板（61）内侧开设有固冲件口（66），所述转贴板（61）上端内侧开设有矩体内滑道（67），所述转贴板（61）靠近矩体内滑道（67）的内侧贯穿开设有簧杆滑道（68），所述缓冲设备（7）包括减冲件（71），所述减冲件（71）包括带转油壳（7101），所述带转油壳（7101）内侧开设有储油柱槽（7107），所述储油柱槽（7107）内侧与第一密封环（7108）外侧贴合，所述第一密封环（7108）内侧固定连接有缓滑油推板（7102），所述缓滑油推板（7102）外侧滑动连接有储油柱槽（7107），所述缓滑油推板（7102）一侧设有第二弹簧（7103），所述缓滑油推板（7102）一侧远离第二弹簧（7103）固定连接有柱杆双杆（7104），所述带转油壳（7101）靠近柱杆双杆（7104）一端的内侧开设有柱滑圆口（7109），所述缓滑油推板（7102）内侧开设有油缓流口（71010），所述柱滑圆口（7109）内侧固定连接有第二密封环（7105），所述柱杆双杆（7104）一侧固定连接有限位移挡板（7106），所述减冲件（71）一端内侧开设有油管装口（72），所述减冲件（71）一侧固定连接有缓滑件（74），所述缓滑件（74）包括稳固板块（741），所述稳固板块（741）远离减冲件（71）的内侧开设有活动矩滑道（743），所述稳固板块（741）靠近活动矩滑道（743）的内侧开设有矩条凹槽（742），所述矩条凹槽（742）内侧滑动连接有矩体滑块（746），所述矩体滑块（746）一侧固定连接有矩滑孔体（745），所述矩滑孔体（745）一侧固定连接有第一弹簧（744），所述矩滑孔体（745）内侧开设有柱转孔（747），所述矩滑孔体（745）靠近柱转孔（747）的内侧开设有圈限转槽（748），所述缓滑件（74）一侧设有弧形橡胶轮（73），所述弧形橡胶轮（73）内侧固定连接有转棍杆（76），所述转棍杆（76）上端固定连接有齿轮（75），所述通油组件（9）包括固囊壳（91），所述固囊壳（91）内侧开设有囊槽（92），所述囊槽（92）上端一侧与储油气囊（93）上端固定连接，所述储油气囊（93）下端内侧固定连接有下支管（94），所述储油气囊（93）上端内侧固定连接有上支管（95），所述上支管（95）上端固定连接有分支管（96），所述伸缩空滑杆（22）上端与山支板（41）下端固定连接，所述减摩夹块（51）下端外侧滑动在减摩滑槽（44）内侧，所述减摩夹块（51）一侧与弧转固板（63）一侧固定连接，所述减冲件（71）外侧固定连接在固冲件口（66）内侧，所述固囊壳（91）上端固定连接在山支板（41）下端。

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