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一种具有横向模态抑制效果的声表面波装置 

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申请/专利权人:左蓝微(江苏)电子技术有限公司

摘要:本申请提供了一种具有横模抑制效果声表面波装置,该声表面波装置包括自下而上依次层叠的压电性基板、质量负载层和IDT电极。质量负载层包括间隔设置第一延伸部和第二延伸部,以及形成于第一延伸部和第二延伸部之间的第三延伸部和凹槽部;IDT电极包括多个交错间隔设置的电极指,相邻电极指一一对应覆盖在第一延伸部和第二延伸部上,且相邻电极指之间的间隙与凹槽部相对应,使得声表面波装置激励产生的弹性波会因质量负载层而在压电性基板上具有不同的传播速度,从而抑制横模谐振。

主权项:1.一种具有横向模态抑制效果的声表面波装置,其特征在于,包括:压电性基板;质量负载层,形成于所述压电性基板上;所述质量负载层包括分别沿第一方向和第二方向相互间隔,且沿所述第二方向延伸的多个第一延伸部和多个第二延伸部,以及沿所述第一方向和所述第二方向相互间隔,且沿所述第一方向延伸的多个第三延伸部,每个所述第三延伸部沿所述第一方向将相邻的一对第一延伸部和所述第二延伸部相连,并在相连的所述第一延伸部和所述第二延伸部之间形成凹槽部;IDT电极,形成于所述压电性基板上,所述IDT电极包括多个沿所述第一方向依次交错间隔设置的电极指,以及沿第二方向间隔设置的第一汇流条和第二汇流条;所述电极指包括沿所述第二方向相对的延伸端和连接端,相邻所述电极指的连接端分别与所述第一汇流条和所述第二汇流条相连,相邻所述电极指的延伸端沿所述第二方向延伸,并依次将沿所述第二方向设置的一对所述第二延伸部和所述第一延伸部覆盖,且相邻所述电极指之间的间隙在所述第一方向上与所述凹槽部相对应;其中,所述第一方向与所述第二方向正交,且与所述压电性基板的表面平行。

全文数据:

权利要求:

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