龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：华南理工大学
摘要：本申请提供了一种半导体氧化物薄膜及其制备方法，所述半导体氧化物薄膜的成分包括多层金属氧化物层；所述多层金属氧化物层的组成通式为AOαBOβROγ，其中α，β，γ分别为AO层，BO层，RO层的循环次数；AO为第一金属的氧化物层，BO为第二金属的氧化物层，RO为第三稀土金属的氧化物层。所述半导体氧化物薄膜通过成分及结构的调控，在In和或Sn的金属氧化物层中，同时引入两种作用不同的第二金属氧化物层和第三稀土金属氧化物层，提高了半导体氧化物薄膜的光热稳定性。所述制备方法通过控制ALD沉积工艺的相关参数，制得的半导体氧化物薄膜致密度极高，成分微区分布均匀且易于精确控制，表面形貌覆盖性优异。
主权项：1.一种半导体氧化物薄膜，其成分包括多层金属氧化物层；所述多层金属氧化物层的组成通式为AOαBOβROγ，其中α，β，γ分别为AO层，BO层，RO层的循环次数；AO为第一金属的氧化物层，BO为第二金属的氧化物层，RO为第三稀土金属的氧化物层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华南理工大学 一种半导体氧化物薄膜及其制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号