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申请/专利权人：湖南大学

摘要：本发明公开了一种室温声表面波甲醛传感器及其制备方法和应用，属于气体传感器技术领域，该室温声表面波甲醛传感器包括铌酸锂衬底、设置于所述铌酸锂衬底上的两个平行且间隔设置的叉指换能器以及涂覆于所述铌酸锂衬底上并位于两个所述叉指换能器之间的聚3,4‑亚乙二氧基噻吩:聚苯乙烯磺酸‑二硫化钼氧化铟敏感层。本发明在室温下便能够对甲醛气体具有优异的气敏性能，显著提高了声表面波甲醛传感器的灵敏度。

主权项：1.一种室温声表面波甲醛传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，将二硫化钼粉末溶于去离子水中，形成二硫化钼分散液，然后将该分散液以一定功率超声一段时间，得到均匀的二硫化钼溶液；步骤2，将氧化铟粉末溶于去离子水中，形成氧化铟分散液，然后将该分散液以一定功率超声一段时间，得到均匀的氧化铟溶液；步骤3，取聚3,4-亚乙二氧基噻吩:聚苯乙烯磺酸溶液，加入二硫化钼溶液、氧化铟溶液和去离子水，然后搅拌一段时间，得到均匀的聚3,4-亚乙二氧基噻吩:聚苯乙烯磺酸-二硫化钼氧化铟溶液；步骤4，采用光刻、蒸铝和剥离工艺，在铌酸锂衬底上制备两个间隔设置的叉指换能器；步骤5，采用滴铸法，将所述聚3,4-亚乙二氧基噻吩:聚苯乙烯磺酸-二硫化钼氧化铟溶液滴在所述铌酸锂衬底上的两个所述叉指换能器之间的区域，在一定温度下干燥一段时间，然后置于室温稳定后，得到基于聚3,4-亚乙二氧基噻吩:聚苯乙烯磺酸-二硫化钼氧化铟复合材料的室温声表面波甲醛传感器；其中，步骤1中，将质量为100~500mg的二硫化钼粉末溶于20~100mL去离子水中，形成浓度为5mgmL的二硫化钼分散液，然后将该分散液在室温下以200~400W的功率超声1~3h，得到均匀的二硫化钼溶液；步骤2中，将质量为100~500mg的氧化铟粉末溶于25~125mL去离子水中，形成浓度为4mgmL的氧化铟分散液，然后将该分散液在室温下以100~200W的功率超声2~4h，得到均匀的氧化铟溶液；步骤3中，取10~50mL的浓度为1.5wt%的聚3,4-亚乙二氧基噻吩:聚苯乙烯磺酸溶液，加入20~100mL二硫化钼溶液、25~125mL氧化铟溶液和45~225mL去离子水，然后搅拌6~12h，得到均匀的聚3,4-亚乙二氧基噻吩:聚苯乙烯磺酸-二硫化钼氧化铟溶液。

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百度查询： 湖南大学 室温声表面波甲醛传感器及其制备方法和应用