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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本申请涉及半导体技术领域，公开了一种蓝色IZO粉末的制备方法，包括以下步骤：步骤1：将氧化铟、氧化锌、二氧化锡、分散剂、纯水混合，得到浆料一；步骤2：将步骤1制得浆料一进行喷雾造粒，得到黄色IZO前驱体粉末；步骤3：将步骤2制得的黄色IZO前驱体粉末中加入还原剂，经乳化剪切机剪切后加入到高压釜中，经热处理后固液分离，得到蓝色沉淀物；步骤4：将步骤3制得的蓝色沉淀物用纯水洗涤、烘干、得到蓝色IZO粉末。通过该方法制备出的蓝色IZO粉末具有较高的氧空位浓度，进而提高了其载流子浓度和导电能力，此外，还公开了一种蓝色IZO粉末。
主权项：1.一种蓝色IZO粉末的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：将氧化铟、氧化锌、二氧化锡、分散剂、纯水混合，得到浆料一；步骤2：将步骤1制得浆料一进行喷雾造粒，得到黄色IZO前驱体粉末；步骤3：向步骤2制得的黄色IZO前驱体粉末中加入还原剂，经乳化剪切机剪切后加入到高压釜中，经热处理后固液分离，得到蓝色沉淀物；步骤4：将步骤3制得的蓝色沉淀物用纯水洗涤、烘干、得到蓝色IZO粉末；步骤3中的还原剂选自苯胺、乙二酸、乙醇、乙二醇中的一种或多种；所述还原剂占黄色IZO前驱体粉末质量的40-60%；步骤3中热处理的温度为280℃-300℃，热处理的时间为460-500分钟；氧化铟、氧化锌、二氧化锡的质量比为85-95：5-15：1-5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种蓝色IZO粉末及其制备方法
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