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申请/专利权人：昆山龙腾光电股份有限公司
摘要：本实用新型涉及液晶显示面板制造设备技术领域，公开了一种真空压合装置。真空压合装置包括：下压头机构，包括下容置室和下定盘，下定盘设置在下容置室内且能承托下层基板；上压头机构，包括上容置室、上定盘和加压轴，上定盘能够粘接上层基板，加压轴能够带动上定盘相对于上容置室向下运动，以使上层基板压合在下层基板上；气浮机构，包括供气组件和多个设置在下容置室内的支撑组件，支撑组件的活动端支撑于下定盘下方，供气组件能向支撑组件供气，并使活动端能在上下方向浮动，以使下定盘的对应位置处的压力保持在预设范围。该真空压合装置能避免基板在压合过程损伤、避免压合后的显示面板出现气泡、显示不均的缺陷，且提高了两基板的对位精度。
主权项：1.一种真空压合装置，其特征在于，包括：下压头机构10，包括下容置室11和下定盘12，所述下定盘12设置在所述下容置室11内且能够承托下层基板100；上压头机构20，包括上容置室21、上定盘22和加压轴23，所述上定盘22能够粘接上层基板200，所述加压轴23能够带动所述上定盘22相对于所述上容置室21向下运动，以使所述上层基板200压合在所述下层基板100上；气浮机构，包括供气组件和多个设置在所述下容置室11内的支撑组件31，所述支撑组件31的活动端支撑于所述下定盘12下方，所述供气组件能向所述支撑组件31供气，并使所述活动端能够在上下方向浮动，以使所述下定盘12的对应位置处的压力保持在预设范围。
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