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申请/专利权人：英特磊半导体技术(上海)股份有限公司
摘要：本发明公开了一种多组分气体的检测装置及其温度控制方法，属于气体检测技术领域。该检测装置包括：激光发射模块，包括至少两个可调谐激光发射器，被配置为对应于待测气体的吸收峰波长发射检测激光；温度控制模块，被配置为提供不同的工作温度点，使激光发射模块在不同的工作温度点下对应发射不同波长的检测激光；波分复用模块，被配置为接收激光发射模块发出的至少两束检测激光，将至少两束检测激光耦合至一个封有待测气体的光路系统内进行反射；激光探测模块，包括至少两个光探测器，被配置为对至少两束检测激光的吸收光谱进行检测，用于获得对应的待测气体的浓度。本发明提供的检测装置在同一装置内实现多种气体浓度的激光检测。
主权项：1.一种多组分气体的检测装置，包括：激光发射模块，包括至少两个可调谐激光发射器，所述至少两个可调谐激光发射器被配置为对应于至少两种不同的待测气体的吸收峰波长发射检测激光；温度控制模块，被配置为提供不同的工作温度点，使所述至少两个可调谐激光发射器在所述不同的工作温度点下对应发射不同波长的检测激光；波分复用模块，被配置为接收所述至少两个可调谐激光发射器发出的至少两束检测激光，将所述至少两束检测激光耦合至一个封有待测气体的光路系统内进行反射；激光探测模块，包括至少两个光探测器，所述至少两个光探测器被配置为对所述至少两束检测激光的吸收光谱进行检测，用于获得对应的待测气体的浓度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 英特磊半导体技术(上海)股份有限公司 多组分气体的检测装置及其温度控制方法
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