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申请/专利权人：复旦大学;上海集成电路制造创新中心有限公司
摘要：本发明提供了一种柔性铁电存储器件及其制备方法，通过提供柔性衬底；在所述衬底上生长第一金属层，作为存储器的栅极；通过原子层沉积法在所述第一金属层上掺杂二氧化铪形成铁电层；在所述铁电层上生长第二金属层，作为存储器的源极和漏极；将有机材料通过真空热蒸发沉积在所述第二金属层上，形成柔性可弯折的沟道，得到柔性铁电存储器件，通过真空热蒸发沉积有机材料形成柔性可弯折的沟道，简化了柔性铁电存储器件生产过程，降低了生产成本，通过掺杂二氧化铪形成铁电层，实现了高性能柔性铁电存储器件的制备，满足可穿戴设备的存储需求。
主权项：1.一种柔性铁电存储器件的制备方法，其特征在于，包括：提供柔性衬底；在所述衬底上生长第一金属层，作为存储器的栅极；通过原子层沉积法在所述第一金属层上掺杂二氧化铪形成铁电层；在所述铁电层上生长第二金属层，作为存储器的源极和漏极；将有机材料通过真空热蒸发沉积在所述第二金属层上，形成柔性可弯折的沟道，得到柔性铁电存储器件。
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百度查询： 复旦大学 上海集成电路制造创新中心有限公司 一种柔性铁电存储器件及其制备方法
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