龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：江苏大学
摘要：本发明提供一种p型透明功能氧化物薄膜在GaN类材料上自缓冲界面保护异质外延生长方法。实现氧化物在室温到高温条件下，在GaN类材料外延层上高质量异质外延生长，巧妙地将该外延层用作界面保护层和上层生长缓冲层，解决了氧化物‑GaN类材料外延过程中界面破坏问题，获得高质量p型氧化物外延薄膜，保护异质界面构筑高性能pn异质结。本发明生长工艺简单，可靠性好，适用范围广，以该方法制备出的氧化物‑GaN类材料pn异质结兼顾高工作电压和低漏电流等优点，能够形成更好的导通与截止性质。并且在紫外光的照射下可产生明显的光生电压，具备优异的光伏效应。
主权项：1.一种p型透明功能氧化物薄膜在GaN类材料上自缓冲界面保护异质外延生长方法，其特征在于，包括如下步骤：1在室温至50℃温度区间范围，利用沉积技术，在基底上的外延生长第一层p型透明氧化物自缓冲层；2再次利用沉积技术，控制沉积温度在500～900℃，在步骤1所得的第一层p型透明氧化物缓冲层之上继续生长第二层高质量p型透明氧化物薄膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏大学 一种p型透明功能氧化物薄膜在GaN类材料上自缓冲界面保护异质外延生长方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号