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申请/专利权人：中山市新益昌自动化设备有限公司
摘要：本发明适用于半导体生产技术领域，提供了一种自动上料装置及双排炉，上述自动上料装置滑道、第一限位组、第二限位组以及推动结构。产品在滑道中运动的过程中，可以通过使第一限位组以及第二限位组处于工作状态分别对两个产品进行阻挡定位，并在产品定位完成后，使第一限位组以及第二限位组切换至避让状态，此时通过推动结构上的第一推动端与第二推动端分别与两个产品抵接，然后再通过推动结构上的第一推动端与第二推动端同时推动两个产品沿滑道的长度方向同步滑动，并直至将产品推动到加热炉的进料口处。避免了需要重复行程推料才能完成多个温区的上料操作，提高了上料的工作效率，可以满足加热炉多炉体的高效率运行及保证推料稳定性。
主权项：1.一种自动上料装置，其特征在于，包括：滑道，用于供产品沿第一方向滑动；第一限位组，具有工作状态以及避让状态，所述第一限位组处于工作状态时，所述第一限位组的至少部分阻挡于所述产品的运动路径上，且所述第一限位组处于避让状态时，所述第一限位组避让所述产品的运动路径；第二限位组，在沿所述第一方向上，所述第一限位组与所述第二限位组依次间隔设置，所述第二限位组具有工作状态与避让状态，所述第二限位组处于工作状态时，所述第二限位组的至少部分阻挡于所述产品的运动路径上，所述第二限位组处于避让状态时，所述第二限位组避让所述产品的运动路径；推动结构，所述推动结构具有第一推动端与第二推动端，所述第一推动端与所述第二推动端在沿所述第一方向上相互间隔设置，所述第一推动端与所述第二推动端用于推动两个产品沿所述滑道的长度方向同步滑动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中山市新益昌自动化设备有限公司 自动上料装置及双排炉
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