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申请/专利权人：福建理工大学
摘要：本发明属于衬底抛光技术领域，提供了一种基于PID控制气体辅助抛光系统的设计方法，包括搅拌系统、人机交互控制系统、超声振动装置、液位计监测装置系统、压力报警系统和气体加压系统，所述气体加压系统包括气源、气体流量控制装置、气体传感器以及数据采集和处理单元；本发明通过能够使加压气体经过滤网输送到搅拌罐，经超声振动装置内部发生器发出预设频率的超声波，接触水体后发生振动，在接触面上出现一个气液共存的状态，产生大量气泡，同时搅拌子通过磁力发生器产生的磁场对搅拌罐中的抛光液进行搅拌，以在单位时间内获得更大的气液体接触面积，进而大大提高气体与抛光液的接触面积，进而获得更好的磨料分散性。
主权项：1.一种基于PID控制气体辅助抛光系统的设计方法，包括搅拌系统、人机交互控制系统1、超声振动装置2、液位计监测装置系统、压力报警系统和气体加压系统，其特征在于：所述气体加压系统包括气源、气体流量控制装置、气体传感器以及数据采集和处理单元，所述气体加压系统引入模糊PID控制；所述气体加压系统还包括采用气体流量偏差E和偏差变化率EC作为模糊控制器的两个输入，对模糊规则PID控制器三个参数Kp、Ki、Kd进行整定和输出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 福建理工大学 一种基于PID控制气体辅助抛光系统的设计方法
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