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申请/专利权人：三星电子株式会社
摘要：本发明提供了基板支撑设备及具有基板支撑设备的等离子体处理设备。所述基板支撑设备包括：用于支撑基板的基板台，和沿着基板台的圆周的接地环组件。所述接地环组件包括：接地环体，所述接地环体具有沿着其圆周部分的多个凹陷；以及能移动以被容纳在所述多个凹陷中的相应的凹陷中的多个接地块，所述多个接地块包括用于电接地的导电材料。
主权项：1.一种基板支撑设备，包括：用于支撑基板的基板台，所述基板台包括用于保持所述基板的下电极以及位于所述下电极下方的绝缘板；以及沿着所述基板台的圆周的接地环组件，所述接地环组件包括：接地环体，所述接地环体围绕所述绝缘板的圆周表面并且具有沿着所述接地环体的圆周部分的多个凹陷，所述多个凹陷是进入所述接地环体的背离所述绝缘板的所述圆周表面的缺口，以及能移动以被容纳在所述多个凹陷中的相应的凹陷中的多个接地块，所述多个接地块包括用于电接地的导电材料，其中，当所述多个接地块中的接地块被容纳在所述多个凹陷中的相应凹陷中时，使得所述接地块被容纳在所述相应的凹陷中的所述接地环体的部分在垂直方向上的接地路径变宽。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三星电子株式会社 基板支撑设备及具有基板支撑设备的等离子体处理设备
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