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微纳米压痕测试装置及方法 

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申请/专利权人:湘潭大学

摘要:本发明公开了微纳米压痕测试装置及方法,涉及精密科学仪器技术领域,立柱下端固定连接在底座上,顶部支撑板固定连接在立柱上端,精密下压装置固定连接在顶部支撑板上且精密下压装置的输出轴竖直朝下设置,载荷检测模块螺纹固定连接在输出轴下端,输出轴外套设有一个弹性元件,弹性元件两端分别对精密下压装置和载荷检测模块产生挤压,位移检测模块固定连接在载荷检测模块下端,压头固定器固定连接在位移检测模块下端,压头固定器用于固定安装压头,载物台固定连接在底座上,载物台用于固定安装试样,将精密下压装置与计算机相连,安装压头,设置试验参数和加载条件,进行试验,采集数据,计算得到力学参数。结构简单,测量结果精度高。

主权项:1.一种微纳米压痕测试装置,其特征在于:包括支撑模块、精密下压装置、载荷检测模块、位移检测模块和载物台,所述支撑模块包括底座、立柱和顶部支撑板,所述立柱下端固定连接在所述底座上,所述顶部支撑板固定连接在所述立柱上端,所述精密下压装置固定连接在所述顶部支撑板上且所述精密下压装置的输出轴竖直朝下设置,所述载荷检测模块螺纹固定连接在所述精密下压装置的输出轴下端,所述精密下压装置的输出轴外套设有一个弹性元件,所述弹性元件两端分别对所述精密下压装置和所述载荷检测模块产生挤压,所述位移检测模块固定连接在所述载荷检测模块下端,压头固定器固定连接在所述位移检测模块下端,所述压头固定器用于固定安装压头,所述载物台固定连接在所述底座上,所述载物台用于固定安装试样;所述载荷检测模块包括力传感器和固定螺杆,所述固定螺杆贯穿所述力传感器并与所述力传感器固定连接,所述固定螺杆上端与所述精密下压装置的输出轴螺纹固定连接,所述位移检测模块包括调节支架、光栅尺和读数头,所述读数头固定连接在所述立柱上,所述调节支架包括水平调节板和竖直安装板,所述水平调节板与所述竖直安装板互相垂直固定连接,所述光栅尺固定连接在所述竖直安装板上,所述光栅尺与所述读数头相对设置且所述光栅尺平行于所述读数头,所述水平调节板上设有一通孔,所述固定螺杆下端穿过所述通孔后与所述压头固定器螺纹连接,所述压头固定器将所述水平调节板压紧于所述力传感器下表面上;所述精密下压装置为直线步进电机,所述精密下压装置通过螺栓固定连接在所述顶部支撑板上。

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权利要求:

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