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申请/专利权人：中国科学院力学研究所

摘要：本发明实施例公开了一种基于电场驱动下的薄膜的剥离方法，包括：在黏附于导电基底的薄膜的至少部分受限边界条件处滴加电解质溶液；将电解质溶液与电源的第一电极电性连接，导电基底与电源的第二电极连接，通过第一电极与第二电极施加外加电场，电解质溶液在外加电场的作用下沿薄膜的受限边界铺展；电解质溶液侵入薄膜与导电基底的界面结合层，将薄膜从导电基底上的抬升与剥离。本发明基于电场操控液体的动态特性，通过电场力克服薄膜张力及界面结合力，从而使得电解质溶液能够侵入薄膜和导电基底的界面结合层中，对薄膜进行抬升并剥离。该方法不受预留空白区的局限，且能有效并完全地实现对黏附的薄膜的完全剥离。

主权项：1.一种基于电场驱动下的薄膜的剥离方法，其特征在于，包括：S100、在黏附于导电基底的薄膜的至少部分受限边界条件处滴加电解质溶液；S200、将所述电解质溶液与电源的第一电极电性连接，所述导电基底与所述电源的第二电极连接，通过所述第一电极与所述第二电极施加外加电场，所述电解质溶液在外加电场的作用下沿薄膜的受限边界铺展；S300、所述电解质溶液侵入所述薄膜与所述导电基底的界面结合层，将所述薄膜从所述导电基底上的抬升与剥离；步骤S200具体包括：S201、将所述第一电极插入所述电解质溶液中，所述第二电极与所述导电基底相连；S202、预先设定剥离参数，并根据预设的剥离参数，计算电源的电性参数；S203、根据步骤S202中的电源的电性参数调节电源后，接通所述电源，使得所述第一电极与所述第二电极在所述电解质溶液中形成电场，迫使所述电解质溶液发生铺展；步骤S202中，所述薄膜的预设剥离参数的计算如下公式所示：ws＝k[lns-1]s-klns0s+ks0,公式I； 其中，公式I中，s为预设剥离长度，s0为初始剥离长度，k是根据电场力及薄膜张力、界面结合强度间竞争所获得的无量纲参数，且k＝f1Eεd0，E为薄膜弹性模量，d0为薄膜厚度；公式II中，w为公式I中得到的ws，s为预设剥离长度，t为剥离时间，μ为溶液的黏度系数，p为薄膜所受到的净压强，且p＝εfρfUs-σ0，其中，εf,ρf,U和σ0分别是溶液的相对介电常数、电荷体密度、施加的电压和薄膜的预应力。

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