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申请/专利权人：埃克斯工业有限公司

摘要：本申请公开了一种晶圆倒片流程生成方法、装置、电子设备及可读存储介质。本申请的生成的倒片动作可包括一次变更多个晶圆摆放位置的动作，从而提高倒片动作的工作效率，同时，还基于预设初始倒片代价将无继续搜索价值的倒片动作删除，从而避免继续基于该倒片动作上花费搜索时间，减少生成倒片流程的时间，从而实现快速将晶圆加工室内各晶圆调整到正确的加工位置。

主权项：1.一种晶圆倒片流程生成方法，其特征在于，所述晶圆倒片流程生成方法包括以下步骤：基于预设倒片策略，以将晶圆加工室中各晶圆的当前摆放位置变更至预设目标摆放位置为目标，生成倒片动作合集，其中，所述倒片动作合集中的倒片动作为基于所述当前摆放位置生成，且所述倒片动作用于一次变更一个晶圆的摆放位置或一次变更多个晶圆的摆放位置；从所述倒片动作合集中获取一个倒片动作，判断执行所述倒片动作后所述晶圆加工室中各晶圆的模拟摆放位置是否与所述预设目标摆放位置相同；若相同，则基于所述模拟摆放位置的目标倒片动作生成所述晶圆加工室的晶圆倒片流程，其中，所述目标倒片动作用于将晶圆加工室中各晶圆从初始摆放位置变更至所述模拟摆放位置；若不相同，则基于预设初始倒片代价判断基于所述倒片动作继续搜索是否存在价值；若不存在价值，则删除所述倒片动作合集中的所述倒片动作，返回至执行所述从所述倒片动作合集中获取一个倒片动作的步骤，直至遍历所述倒片动作合集中各倒片动作后生成新的倒片动作合集；将执行所述新的倒片动作合集中各倒片动作得到的各模拟摆放位置作为新的当前摆放位置，并返回执行所述基于预设倒片策略，以将晶圆加工室中各晶圆的当前摆放位置变更至预设目标摆放位置为目标，生成倒片动作合集的步骤；其中，所述基于预设初始倒片代价判断基于所述倒片动作继续搜索是否存在价值的步骤包括：比较晶圆加工室中各晶圆从初始摆放位置变更至所述模拟摆放位置的当前时间代价和所述预设初始倒片代价；若所述当前时间代价大于或等于所述预设初始倒片代价，则判定不存在价值；其中，在所述基于预设初始倒片代价判断基于所述倒片动作继续搜索是否存在价值的步骤之前，所述方法包括：基于预设单指倒片策略确定将所述晶圆加工室中的各晶圆从初始摆放位置变更为所述预设目标摆放位置的单指倒片动作序列，其中，所述单指倒片动作序列中的单指倒片动作用于变更一个晶圆的摆放位置；将执行完所述单指倒片动作序列的时间代价作为所述预设初始倒片代价。

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