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申请/专利权人：日本电产理德股份有限公司
摘要：本发明提供一种变形不易集中的探针、使用所述探针的检查治具、检查装置及所述探针的制造方法。探针Pr为大致棒状形状，包括前端部Pa、基端部Pb、以及主体部PC，所述主体部PC位于前端部Pa与基端部Pb之间，且与大致棒状的轴向正交的厚度方向的厚度比前端部Pa薄，主体部PC包含倾斜面Fs1，所述倾斜面Fs1与前端部Pa相连，且以厚度随着远离前端部Pa而逐渐变薄的方向相对于轴向倾斜，在倾斜面Fs1的至少一部分设置有具有朝向外侧鼓起的面形状的第一区域。
主权项：1.一种探针，为大致棒状形状，其特征在于，包括一端部、另一端部、以及主体部，所述主体部位于所述一端部与所述另一端部之间，且与所述大致棒状的轴向正交的厚度方向的厚度比所述一端部薄，所述主体部包含第一倾斜面，所述第一倾斜面与所述一端部相连，且以所述厚度随着远离所述一端部而逐渐变薄的方向相对于所述轴向倾斜，在所述第一倾斜面的至少一部分设置有具有朝向外侧鼓起的面形状的第一区域，所述主体部还包含与所述第一倾斜面为所述厚度方向相反侧的第二倾斜面，在所述第二倾斜面的至少一部分设置有具有朝向外侧鼓起的面形状的第二区域。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日本电产理德股份有限公司 探针、检查治具、检查装置以及探针的制造方法
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