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申请/专利权人：瑞声声学科技(深圳)有限公司
摘要：本发明提供了一种薄膜体声波谐振器，薄膜体声波谐振器包括：基底；声反射结构，声反射结构从基底上表面向下嵌入基底中或设置于基底上方；压电振动组件，压电振动组件设于声反射结构上方，压电振动组件包括压电功能膜、以及设置在压电功能膜两相对表面上的第一电极、第二电极；质量负载环，质量负载环具有一通孔空腔，质量负载环设于压电振动组件的上方或下方；隔离层，隔离层设于质量负载环与压电振动组件之间；声反射结构、第一电极、压电功能膜与第二电极的投影重叠区域界定一有效区域；质量负载环沿有效区域的边缘区域设置，质量负载环的内边沿小于有效区域的外边沿，其外边沿大于、等于或者小于有效区域的外边沿。
主权项：1.一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述薄膜体声波谐振器包括：基底；声反射结构，所述声反射结构从所述基底上表面向下嵌入所述基底中或设置于所述基底上方；压电振动组件，所述压电振动组件设于所述声反射结构上方，所述压电振动组件包括压电功能膜、以及设置在所述压电功能膜两相对表面上的第一电极、第二电极；质量负载环，所述质量负载环具有一通孔空腔；所述质量负载环包括第一质量负载环和第二质量负载环，所述第一质量负载环设于所述压电振动组件的下方，所述第二质量负载环设于所述压电振动组件的上方；隔离层，所述隔离层包括第一隔离层和第二隔离层，所述第一隔离层设于所述第一质量负载环与压电振动组件之间，所述第二隔离层设于所述第二质量负载环与压电振动组件之间；所述声反射结构、所述第一电极、所述压电功能膜与所述第二电极的投影重叠区域界定一有效区域；所述质量负载环沿所述有效区域的边缘区域设置，所述质量负载环的内边沿小于所述有效区域的外边沿，所述质量负载环的外边沿大于、等于或者小于所述有效区域的外边沿。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 瑞声声学科技(深圳)有限公司 一种薄膜体声波谐振器
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