龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：本公开的实施例涉及用于检测及量测的方法与装置。一种方法，包括：执行仿真以对多个量测目标和或用来测量量测目标的多个量测选配方案进行评价；从经评价的多个量测目标和或量测选配方案中标识一个或多个量测目标和或量测选配方案；接收一个或多个标识的量测目标和或量测选配方案的测量数据；以及使用测量数据来调整量测目标参数或量测选配方案参数。
主权项：1.一种用于在半导体制造工艺中进行检测和量测的方法，包括：通过仿真或根据测得数据对多个量测目标和或用来测量量测目标的多个量测选配方案进行评价；以及从经评价的多个量测目标和或量测选配方案中标识衍射效率或从衍射效率导出的参数跨越阈值的一个或多个量测目标和或量测选配方案。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 用于检测及量测的方法与装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号