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申请/专利权人：新美光(苏州)半导体科技有限公司
摘要：本发明涉及一种衬底加热体组件及化学气相沉积设备，其中提供了一种衬底加热体组件，包括衬底和加热体，衬底包括第一表面、第二表面和中空区，第一表面和第二表面均用于供反应气体沉积，中空区位于第一表面和第二表面之间；加热体位于中空区内，用于产生热量以至少加热第一表面和第二表面。本发明的衬底设计为内部中空的结构，第一表面及第二表面均为衬底靠近中空区部分的外表面，位于中空区的加热体对衬底的第一表面和第二表面沿径向的各个位置的加热效果相对较为平均，不容易产生沉积的产品厚度差异过大的问题，一定程度上提高了衬底上沉积材料的厚度均一性及组织性能均匀性。
主权项：1.一种衬底加热体组件（6），其特征在于，包括：衬底（6-1），所述衬底（6-1）包括沿其轴向投影面相重叠的第一表面（6-11）和第二表面（6-12）以及中空区（6-13），所述第一表面（6-11）和所述第二表面（6-12）均用于供反应气体沉积，所述中空区（6-13）位于所述第一表面（6-11）和所述第二表面（6-12）之间；所述衬底（6-1）为环状；加热体（6-3），位于所述中空区（6-13）内，用于产生热量以至少加热所述第一表面（6-11）和所述第二表面（6-12）；中心柱（6-2），位于所述衬底（6-1）的中心轴上，用于为所述衬底（6-1）提供支撑；若干衬底连杆（6-6），所述衬底连杆（6-6）一端连接所述中空区（6-13）的内壁，另一端连接所述中心柱（6-2）；所述衬底加热体组件（6）还包括加热体连杆（6-4）和电极（6-5）；所述中心柱（6-2）中空，所述电极（6-5）布置于所述中心柱（6-2）内部，所述加热体连杆（6-4）一端连接所述电极（6-5），另一端连接所述加热体（6-3）；所述加热体连杆（6-4）为导体，所述加热体（6-3）为电阻，所述加热体（6-3）能够在所述电极（6-5）通电时发热。
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权利要求：
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