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申请/专利权人：苏州镁伽科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种定心装置，包括：定心部，包括用于卡接装有晶圆的载体的第一归正档条和第二归正档条，第一归正档条和第二归正档条均可移动的安装在定心部上，以使定心部通过第一归正档条和第二归正档条将载体上的晶圆移动至预设的定心位置；驱动部，用于驱动第一归正档条和第二归正档条移动，以使第一归正档条和第二归正档条卡接或松开载体。本实用新型提供的定心装置，通过定心部将晶圆移动预设的定心位置，降低了晶圆在工装上的位置度误差。本实用新型还公开了一种晶圆上料系统。
主权项：1.一种定心装置，其特征在于，包括：定心部100，包括用于卡接装有晶圆的载体400的第一归正档条110和第二归正档条120，所述第一归正档条110和所述第二归正档条120均可移动的安装在所述定心部100上，以使所述定心部100通过所述第一归正档条110和所述第二归正档条120将所述载体400上的晶圆移动至预设的定心位置；驱动部200，用于驱动所述第一归正档条110和所述第二归正档条120移动，以使所述第一归正档条110和所述第二归正档条120卡接或松开所述载体400。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州镁伽科技有限公司 一种定心装置及晶圆上料系统
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