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申请/专利权人：矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
摘要：本实用新型公开一种分选装置及晶粒分选设备，分选装置包括驱动机构、摆臂和吸嘴，摆臂设置于驱动机构，吸嘴设置于摆臂，且吸嘴具有吸附面，吸附面设置有矩形排列的多个吸附孔。驱动机构用于带动摆臂运动，进而由摆臂带动吸嘴运动，以完成晶粒的输送；通过在吸附面设置多个吸附孔，使得吸嘴在吸附晶粒时，可以通过多个吸附孔吸取多个晶粒，进而在摆臂的一个运动周期内，完成多个晶粒的输送，提升晶粒分选设备的分选效率。该分选装置通过在吸嘴的吸附面上设置多个吸附孔，使得吸嘴在摆臂的一个运动周期内可以完成多个晶粒的输送，进而提升晶粒分选设备的分选效率。
主权项：1.一种分选装置，其特征在于，包括：驱动机构；摆臂，所述摆臂设置于所述驱动机构；吸嘴，所述吸嘴设置于所述摆臂，且所述吸嘴具有吸附面，所述吸附面设置有多个吸附孔；所述摆臂设置有第二气管，多个所述吸附孔均与所述第二气管连通，且所述第二气管设置有流量计。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 分选装置及晶粒分选设备
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